|
Cyfrowe regulatory i mierniki przepływu masowego
|
 |
AFC 202D, AFM 302D: najlepsze rozwiązanie dla dużych
przepływów od 30slm do 400slm.[slm = standardowy litr/min]
AFC 50 D, AFM 55 D: odpowiedni dla układów o wysokich
parametrach, przepływ od 10sccm do 30slm; w standardzie
uszczelnienia elastomerowe.
AFC 80 MD, AFM 85 MD - są to specjalizowane układy
wykorzystujące chemicznie czynny gaz, przepływ od 10sccm do
30slm. Wszystkie uszczelnienie metalowe, ultra-czyste
wykończenie i brak generacji cząsteczek. |
|
AFC 310MD, AFC 410MD, AFC 510MD – zbudowane dla zastosowań w
najbardziej wymagających 300mm (APCVD, LPCVD, MCVD, procesy
trawienia, etc...): zawór piezoelektryczny nowej generacji,
wszystkie uszczelnienia metalowe, pełna możliwość stosowania
technologii cyfrowej.
|
|
|
AFC 310MD: produkt standardowy i wielofunkcyjny.
AFC 410MD: charakteryzujący się rozmiarem 1"1/8 dla
małych konstrukcji „footprint” [??].
AFC 510MD: oferuje komunikację DeviceNet. |
|
Analogowe regulatory i mierniki przepływu masowego
|
 |
AFM 10: Ten miernik masowego przepływu jest
zaprojektowany do zastąpienia rotametrów wszędzie tam, gdzie
wymagany jest sygnał wartości przepływu. Natężenie przepływu od
2slm do 60slm. Wykonany z mosiądzu, model AFM10 ma małą
powierzchnię spodnią (footprint) I jest stosowny do regulacji
podciśnienia.
AFM 11: jest to tani miernik przepływu wykorzystywany w
układach regulacji podciśnienia. Natężenie przepływu od 60slm do
120slm. Zwarta obudowa wykonana z mosiądzu. |
|
|
AFC 50, AFM 55: służą dla natężeń przepływu od 10sccm
do 30slm, charakteryzują się unikalnym, niezawodnym, poziomym
zaworem elektromagnetycznym.
AFC 260, AFM 360: do zastosowań wymagających bardzo dużej
stabilności procesu i niezawodności, natężenia przepływu od
10sccm do 5slm.
AFC 261, AFM 361: Oparte na tej samej technologii co
serie 260 I 360; do natężeń przepływu od 10slm do 20slm.
AFC 202, AFM 302: Ta seria stanowi najlepsze rozwiązanie dla
dużych przepływów od 30slm do 400slm.
LVC 414: Ten regulator par cieczy jest zaprojektowany do
pomiaru i regulacji natężenia przepływu masowego materiałów
domieszkowych poprzez zmianę przepływu gazu nośnego poprzez
barboter zawierający materiał źródłowy. |
Aby uzyskać katalogi techniczne innych produktów z zakresu produkcji
firmy Qualiflow -
kliknij tutaj |
